如今,半導體的細微化程度已達到奈米級別,而家用液晶電視則朝著大尺寸化的方向發展。手機、數碼家電以及面向汽車的車載IC的新的市場需求正日益擴大,對電子產業的產品品質和生產效率都提出了更高要求。 為滿足這一市場需求,我們在半導體工廠附近建立擁有超高純度氮氣生產設備和電子材料氣體供應設備的綜合氣體中心,通過輸氣管道全天候供應高純度氮氣和材料氣體。
我們還提供與工業氣體技術配套的特殊配管施工,以及環保型氣體純化和廢氣處理裝置的優化配置。 此外,我們還承攬全國各地供氣站的集中監測體系以及安全報警體系的設計,為電子產業提供各種相關設備和解決方案。
氮化物MOCVD裝置UR26K
MOCVD設備是手機、車載導航儀以及藍色、白色發光二極體所使用的化合物半導體材料的必備生產手段。該設備由本公司率先開發成功,並以其穩定的性能被公認為世界頂級產品。我們還是全球唯一一家能夠提供從MOCVD到生產電子材料氣體供應、廢氣處理一條龍服務的廠商。我們以雄厚的技術力量,研究開發出面向批量生產的大型設備,在日本國內外均創造了傲人業績。
氣瓶櫃
在半導體等生產工廠所使用的SiH4、H2Se、B2H6、AsH3等各種材料氣體，需要高度的工程技術。大陽日酸利用材料氣體的產生・製造・精製・供應技術，實現了可靠的品質和高安全性。此外，本公司還生產由自己獨立設計開發的氣瓶櫃，該產品可靈活設定或擴展各種氣體的種類及更換數量。
為不辜負廣大客戶的信賴，我們實行嚴格的產品品質管制系統，穩定供應高品質的氣體。我們的廢氣處理設備能徹底吸收IC、LSI、VLSI以及化合物半導體生產過程中使用的各種材料氣體有關反應性有害氣體，並在排放前將其轉化為安全氣體。
本公司生產的氣體純化設備的市場佔有率居全球之首，它集氣體綜合技術於一體，挑戰清除不純物的極限。此外，我們還運用大陽日酸獨特的高精度工程技術，開展高純度氣體配管施工。
廢氣處理裝置
高純度氣體純化裝置
