各種工業、半導體、LED業界等電子產業都使用帶毒性、腐蝕性的特殊氣體。為了使這些危險氣體能夠安心的使用,我們充分了解氣體的物理及化學特性,在此之下提供特殊氣體配管、氣瓶櫃及警報設備。
CDA、N2、H2、O2及 Ar等在各種產業中所使用的大宗氣體。本公司承做將氣體從供給源端由管路輸送,經由過濾器除去Particle,再透過純化器進行高純度精製,提供客戶需要的氣體品質。
氣體供給設備(Bulk Specialty Gas Systems,Specialty Gas Systems)到除害設備(Scrubber System),皆可依據客戶的需求條件來提供。另外,其他如化學設備系統、utility及 hook up 配管工程,也均有提供。
台灣日酸公司進口美日等國高純度電子級特殊氣體,供應給半導體產業使用, 可使用在擴散, 蝕刻, 離子植入, 薄膜 及潔淨等相關製程應用
台灣日酸公司進口美日等國高純度電子級特殊氣體,供應給TFT LCD面板產業使用, 可使用在薄膜, 蝕刻及潔淨等相關製程應用.
台灣日酸公司進口美日等國高純度電子級特殊氣體,供應給LED晶片產業使用, 可使用在MOCVD磊晶及蝕刻等相關製程應用.