太陽能產業特殊氣體
產品簡稱 | 鋼瓶尺寸 | 充填量 | 單位 |
AsH3 | 48L | 60 | LB |
B2H6 混合氣 | 47L/44L | Upon RQ | |
BCl3 | 47L | 50 | KG |
BCl3 混合氣 | 47L | Upon RQ | |
BF3 | 44L | 10.5 | KG |
C3H6 | 44L | 40 | LB |
C4F6 | 47L | 20 | KG |
CF4 | 47L | 30~32 | KG |
CH2F2 | 44L | 70 | LB |
CH3F | 7.3L | 3 | LB |
CHF3 | 47L | 30 | KG |
CO | 46L/48L | Upon RQ | |
CO2 | 47L | 30 | KG |
COS | 47L | 10 | KG |
D2 | 44L | 6000 | L |
GeH4 混合氣 | 47L | Upon RQ | |
NF3 Y | 440L | 200 | KG |
PH3 | 44L | 43 | LB |
PH3 混合氣 | 47L | Upon RQ | |
SF6 | 47L | 50 | KG |
Si2H6 | 47L | 3 | KG |
SiCL4 | 10L | 10 | KG |
SiF4 | 47L | 30 | KG |
SiH2Cl2 | 40L | 37 | KG |
WF6 | 10L | 25 | KG |
WF6 | 40L | 70 | KG |
Xe | 1L | 30~50 | L |
Xe | 3.4L | 100 | L |