半導體產業特殊氣體鋼瓶

商品詳細介紹
台灣日酸公司進口美日等國高純度電子級特殊氣體,供應給半導體產業使用, 可使用在擴散, 蝕刻, 離子植入, 薄膜 及潔淨等相關製程應用
產品簡稱 鋼瓶尺寸 充填量 單位
AsH3 48L 60 LB
B2H6 混合氣 47L/44L Upon RQ  
BCl3 47L 50 KG
BCl3 混合氣 47L Upon RQ  
BF3 44L 10.5 KG
C3H6 44L 40 LB
C4F6 47L 20 KG
CF4 47L 30~32 KG
CH2F2 44L 70 LB
CH3F 7.3L 3 LB
CHF3 47L 30 KG
CO 46L/48L Upon RQ  
CO2 47L 30 KG
COS 47L 10 KG
D2 44L 6000 L
GeH4 混合氣 47L Upon RQ  
NF3 Y 440L 200 KG
PH3 44L 43 LB
PH3 混合氣 47L Upon RQ  
SF6 47L 50 KG
Si2H6 47L 3 KG
SiCL4 10L 10 KG
SiF4 47L 30 KG
SiH2Cl2 40L 37 KG
WF6 10L 25 KG
WF6 40L 70 KG
Xe 1L 30~50 L
Xe 3.4L 100 L